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SiResist系列高硅光刻膠

SiResist?是星泰克在全球范圍的創(chuàng)新技術(shù),首次實(shí)現(xiàn)了以硅作為光刻膠的主要組分。SiResist?硅含量高達(dá)40%,可以作為bilayer光刻膠而實(shí)現(xiàn)深刻蝕。 SiResist?技術(shù)適應(yīng)于365nm248nm 193nm光刻,SUN-SiPR365a是一款i-線硅光刻膠。


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